魅杰光电科技（上海）有限公司是一家从事高端微电子检测装备制造，集设备研发、生产、经营为一体的国家高新技术企业。专业提供光学设计、图形处理、算法分析以及机械控制技术一体化的半导体量、检、测技术解决方案。产品有套刻精度量测仪、晶圆缺陷自动检测仪、光学关键尺寸量测仪、全场曝光机四大类。主要应用在第三代化合物半导体、滤波器、硅基OLED以及CIS先进封装等新兴市场。
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光学线宽测量仪
套刻精度检测仪
晶圆缺陷自动检测仪
非接触式曝光机
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MACScan
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OVLScan
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AIRScan
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Litho
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魅杰光电科技（上海）有限公司
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